一种刚柔耦合多轴气浮平台

作者：杨志军; 苏丽云; 黄瑞锐; 彭皓; 黄建彬

来源：2020-12-03, 中国, ZL202011395315.2.

本发明实施例公开了一种刚柔耦合多轴气浮平台,包括：沿第一方向运动的第一运动平台,所述第一运动平台为气浮平台,包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置,所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接,所述第一柔性铰链的高度大于第一工作平台的厚度。该多轴气浮平台能实现大承载的长行程高精度定位。