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摘要
区别于传统平面拼接检测方式，将空间六自由度应用于连续位相板拼接检测，建立数学模型，通过最小二乘的方式实现孔径拼接融合，完成连续位相板的检测，恢复其波前特征。本文通过仿真分析该方法的精度，并搭建机械检测装置完成子孔径数据采集，对加工的连续位相板进行实验验证。通过仿真分析，拼接面形误差RMS约为0.0006λ，实验结果显示100mmCPPs，拼接面形误差RMS约为0.0143λ，子孔径拼接波前数据结果与全口径检测数据可以达到很好的一致性。
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单位机电工程学院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 哈尔滨工业大学
