电子级多晶硅生产关键工艺分析

作者：郑盛涛

来源：造纸装备及材料, 2020, 49(04): 60-61.

• 电子级多晶硅
• 生产工艺
• 西门子法
• 硅烷CVD法

文章介绍了几种常见的电子级多晶硅生产技术,分析了我国在该项目中的主要特征和优势,并指出在生产电子级多晶硅时应注意的关键工艺,以期为有关部门提供参考。