使用程控气冷热处理设备对FGH96粉末镍基高温合金进行了冷却速率不同的固溶热处理,使用扫描电子显微镜研究了热处理对合金微观组织的影响。结果表明,高温热处理会对样品表面产生损伤,包括表面氧化层和γ’强化相贫化区域。固溶热处理保温阶段后的冷却速率对于FGH96合金中γ’强化相的形貌和尺寸有显著的影响。冷却速率越快,γ’强化相的尺寸越小,两者之间成幂函数关系。