在考虑平面机构杆件误差和运动副间隙的基础上,建立了基于概率的平面机构运动模型,通过蒙特卡洛方法对曲柄滑块机构的运动可靠度进行分析,分析表明:在转动过程中,曲柄滑块机构的可靠性呈周期性变化;当仅考虑杆长误差的情况下,曲柄转角为(π/2,π)∪(π,3π/2)范围内出现最高失效概率;当仅考虑运动副间隙的情况下,曲柄转角为π/2和3π/2时失效概率最高;杆件误差和运动副间隙的共同作用将会导致机构可靠性快速降低。