铜合金层蚀刻液专利分析

作者：刘化然; 闫蕾

来源：广东化工, 2020, 47(12): 116-117.

• 铜合金层
• 蚀刻液
• 专利分析

本文以德温特专利数据库为基础,通过对专利文献的宏观分析以及对重点申请人的技术分析,对铜合金层蚀刻液的发展现状进行了分析,并提出了相关建议。

• 单位
  国家知识产权局