CMP抛光工作台冷却系统研究

作者：刘福强; 张康; 吴燕林; 李伟; 史霄; 舒福璋

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(03): 34-39.

• CMP抛光工作台
• 循环冷却水系统
• 温度场
• 最优循环路径

通过建立抛光工作台的循环冷却水系统，创建了抛光工作台4种不同的循环路径模型；根据温度场的有限元法和流体动力学原理，应用Ansys-Fluent对抛光工作台4种不同循环水路的速度场和温度场进行仿真分析，并对仿真结果分析对比得出了冷却水最优循环路径。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所