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摘要
铜铟镓硒（CIGS, Cu(In,Ga)Se2）薄膜太阳能电池转换效率提高的关键，在于CIGS吸收层的元素含量及元素深度分布的有效控制，对元素含量的准确测量是制备和控制工艺中的基础。采用磁控溅射和三步热蒸镀方法模拟制备了Mo/CIGS薄膜，作为铜铟镓硒薄膜太阳能电池材料元素含量测量的样品，开展了电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）方法准确测定CIGS元素含量的方法研究。结果表明，建立的CIGS前处理方法及ICP-OES、ICP-MS测试方法准确可靠，两种方法测量结果一致，测试方法的相对不确定度在0.8%～1.3%之间，能够实现CIGS样品的准确测量，进而为基于表面分析方法对CIGS的深度剖析提供校正标准，能满足产业中对铜铟镓硒薄膜深度元素剖析的准确计量需求。
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