镁含量和热处理对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜晶体结构的影响

作者：王保明; 吴约才; 赵素贵

来源：安徽大学学报(自然科学版), 2010, (04): 81-85.

• 溶胶-凝胶法
• Zn1-xMgxO薄膜
• 晶体结构 Sol-Gel method
• Zn1-xMgxO thin film
• crystal substrate

采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备Zn1-xMgxO(x=0.1、0.2、0.3、0.4、0.5、0.6(mol))薄膜.X射线衍射谱测试结果发现,在0.1<x<0.3范围内薄膜仍然保持氧化锌六角形纤锌矿结构,(002)衍射峰向大角度方向移动,当x超过0.3时出现氧化镁立方相.对于Zn0.7Mg0.3O薄膜,在5.0、5.5、6.0℃.min-1的升温速率下,升温速率越快结晶程度越好.在相同升温速率下,随着退火温度从500℃升高到560℃,样品的结晶程度变好,当退火温度达到590℃时结晶程度变差.

• 单位
  中国人民解放军陆军炮兵防空兵学院