薄膜残余应力有限元分析研究

作者：张耀平; 张云洞; 凌宁; 许鸿

来源：激光与光电子学进展, 2005, (10): 23-26+22.

• 残余应力
• 薄膜
• 有限元 residual stress thin films FEM

利用有限元软件对薄膜残余应力进行了分析与计算,并与理论计算结果进行对比,说明所建立的模型是合理的。

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 中国科学院研究生院