太赫兹器件中石英微带-同轴转换优化设计

作者：齐登钢; 赵超颖; 杨晨; 吴博文

来源：电子工艺技术, 2019, 40(04): 220-223.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2019.04.010

• 太赫兹
• 石英微带-同轴转换
• 热超声键合

为了减小太赫兹器件中频端口石英微带-同轴转换的插入损耗,提高信号传输效率,优化设计了金丝键合和绝缘子包金带两种微带-同轴互联方式。结合热超声键合工艺,对两种互联方式进行探讨。通过实物加工测试,得到两种互联方式的插入损耗,其中绝缘子包金带在0～33 GHz带宽内插入损耗小于0.33 dB,金丝键合在0～20 GHz带宽内插入损耗小于0.7 dB。可知绝缘子包金带互联方式能更加有效提高中频信号传输效率,可应用在混频器和倍频器等太赫兹器件的设计中。

• 单位
  博微太赫兹信息科技有限公司