提高冷氢化技术中三氯氢硅的收率是多晶硅生产以及有机硅行业急需解决的技术难题。在对工艺装置的温度、压力等技术参数基本达到最优的情况下，添加催化剂成为提高冷氢化三氯氢硅收率的一项重要措施。在反复比选并调研其他企业的铜基催化剂、镍基催化剂、镍铜催化剂使用情况后，本实验选用CuCl作为催化剂，通过并行考察两套相同配置的生产装置中有无催化剂的对比实验，验证了氯化亚铜催化剂可以提高冷氢化三氯氢硅收率，在反应器中采用氯化亚铜催化剂将三氯氢硅的体积百分收率从24%提高至约30%。
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