一种小型电压传感膜片的设计与仿真

作者：张国帅

来源：科技视界, 2020, (05): 120-122.

DOI：10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2020.05.044

• 电压测量
• 硅微结构
• 有限元仿真

本文突破传统阻容分压、电阻分压电压传感器的设计思路,基于MEMS加工技术,设计了一种十字梁结构膜片,建立了数学模型,利用有限元分析法对其结构进行仿真研究,得到十字梁硅微结构的电压传感膜片理想参数,通过对十字梁膜片进行固有频率分析,计算出远大于工频,表明设计的十字梁膜片能对交、直流电压进行测量。

• 单位
  衢州职业技术学院