砷化镓单晶线性孪晶长度判断方法研究

作者:王金灵; 刘火阳
来源:信息记录材料, 2022, 23(12): 36-38.
DOI:10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2022.12.031

摘要

本文研究线性孪晶在晶体中的生长存在规律性,根据几何关系的换算则可以计算出M-Twin需要切割的砷化镓单晶长度。实验验证利用理论公式计算晶棒的M-Twin长度与实际M-Twin切除长度接近,证明该计算方法可以判断砷化镓线性孪晶的长度,可以减少因人为误判而造成的浪费。

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