关于TFT-LCD技术显影工艺的探究

作者:王立夫; 盛大德
来源:电子元器件与信息技术, 2021, 5(10): 86-87.
DOI:10.19772/j.cnki.2096-4455.2021.10.040

摘要

随着显示技术的不断发展,TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示器)液晶显示技术取得了重大关键技术的突破,已进入快速成长时期。本文通过对显影工艺设备的机理分析,以及显影条件的关键参数剖析,得出显影条件与产品结构的对应关系,通过本次探究,对TFT-LCD显影工艺有了更加深入的了解,对生产制造提供了有力帮助。

  • 单位
    北京京东方显示技术有限公司