从晶体取向特点探讨ZnO薄膜的晶体不完整性

作者：侯长民; 黄科科; 高忠民; 马艳; 杜国同; 李向山; 冯守华

来源：高等学校化学学报, 2006, (05): 805-807.

• 氧化锌薄膜
• 晶体取向
• 取向柱状多晶体 ZnO films
• Crystal orientation
• Columnar poly-crystals

用MOCVD法在蓝宝石衬底上得到了ZnO(0002)膜,并用XRD和SEM进行了表征.结果表明,薄膜中沿[0001]择优取向生长的柱状晶垂直于衬底表面,晶柱之间存在着边界和间隙.X射线Ф扫描实验结果表明,晶柱之间的取向偏差在3°~30°之间.X射线ω摇摆曲线和谱线宽度分析结果表明,薄膜中的晶柱是由多个晶粒堆叠而成,且晶粒之间的平均取向偏差也在2.6°以上.实验结果表明,ZnO大失配度异质外延膜是c轴[0001]取向柱状多晶体,ZnO薄膜的结晶不完整性主要是由其柱状晶结构造成的.

• 单位
  无机合成与制备化学国家重点实验室; 吉林大学; 集成光电子学国家重点实验室