基于磁控溅射制备铜基表面增强拉曼散射基底

作者：何煜; 李强; 张玲^*; 潘登; 孙群

来源：光学仪器, 2019, 41(06): 40-47.

• 纳米多孔铜膜
• 磁控溅射
• 脱合金
• 表面增强拉曼散射(SERS)

为了提高拉曼光谱仪的探测灵敏度,设计了铜基表面增强拉曼散射(surface enhanced Raman scattering, SERS)薄膜基底。以Cu40Ti60合金为靶材,通过控制磁控溅射参数获得了一系列铜钛合金薄膜,采用脱合金法进一步获得了不同结构的铜基薄膜,系统地研究了不同溅射参数对铜基薄膜的SERS特性的影响,确定了制备SERS基底的最佳溅射参数。脱合金后所得铜膜具有多孔结构,能形成高强度局域电磁场,即SERS"热点"(hotspots),从而表现出优异的SERS增强性能。该基底制备成本低,重复性好,能用于灵敏检测且SERS增强因子可达1.8×107,具有较好的应用前景。

• 单位
  上海大学; 上海理工大学