摘要
一种基于氢储运设备内表面的阻氢涂层及制备方法,该制备方法包括以下步骤:步骤S10,将基体的表面进行逐级打磨抛光并清洗风干后,通过PIII&D沉积技术在基体的表面上注入与沉积催化金属离子,以得到从下往上依序层叠的沉积催化金属层和注入层;步骤S11,采用PECVD方法在注入层的表面原位生长出石墨烯涂层。本发明制备的石墨烯涂层与膜基之间结合力高,阻氢效果良好,能够更好地实现低温常压大面积制备,降低生产成本,且在工件内外表面都可以实现均匀沉积,适用于氢储运设备内表面石墨烯涂层的工业制备。
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