弱碱性条件下紫铜化学抛光新工艺

作者:井涛; 张忠诚; 李广武; 赵芳
来源:腐蚀科学与防护技术, 2007, 19(05): 367-370.
DOI:10.3969/j.issn.1002-6495.2007.05.016

摘要

开发出了弱碱性溶液中紫铜化学抛光新工艺,确定了抛光液中的光亮剂(包括缓蚀剂和表面活性剂).经过一系列正交实验,获得了最佳工艺条件,并分析了影响抛光效果的各种因素.该工艺抛光速度快、腐蚀性低、环境污染小、成本低.

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