荏原中标合肥晶合集成电路项目

来源：机电信息, 2021, (10): 11.

<正>近日,荏原中标合肥晶合集成电路股份有限公司12英寸半导体晶圆项目,为其提供9台大型高效离心式冷水机组,助力其打造洁净安全的生产环境。据了解,合肥晶合集成电路股份有限公司是安徽省首个超百亿级集成电路生产企业,总投资达128亿元,建成后手机芯片每年总产量将达120万片。荏原高效离心式冷水机组性能稳定可靠、负荷调节精准,充分满足了项目方对空调系统的特殊需求。该项目是荏原继欧菲光光学光电产业园项目之后,在半导体芯片领域树立的又一个标杆项目。