基于迈克尔逊干涉原理的微小位移测量方法研究

作者：闵渭兴; 张周强; 胥光申; 李晓飞

来源：科技视界, 2019, (29): 136-137.

DOI：10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2019.29.062

• 迈克尔逊干涉
• 干涉条纹
• 激光干涉
• 测量位移

针对传统迈克尔逊干涉测量位移精度较低的问题,本文提出了一种新型迈克尔逊干涉测量方法,该方法通过增加偏振分光棱镜来提高干涉条纹的明暗变化,很大程度上克服了传统迈克尔逊干涉灵敏度和测量精度较低的问题。实现了0. 01mm微小位移的精确测量,且测量误差为0. 044%,测量系统性能稳定,该系统可为后续的高精度测量提供宝贵的经验。

• 单位
  机电工程学院; 西安工程大学