溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文)

作者：李海元; 熊怀; 唐永兴; 胡丽丽

来源：稀有金属材料与工程, 2010, S2: 145-148.

• 溶胶-凝胶
• 薄膜
• ZrO2/SiO2
• 双层减反 sol-gel
• thin film
• ZrO2/SiO2
• two-layer antireflective

以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2...

• 单位
  中国科学院上海光学精密机械研究所