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摘要
采用直流磁控溅射技术在Si（100）晶片和304不锈钢上沉积了（BCSiAlCr）Nx薄膜。采用XRD、XPS、TEM和SEM分别分析了薄膜的成分、晶体结构和形貌。利用电化学工作站测试了薄膜的耐腐蚀性能，具体包括动电位极化实验、恒电位极化实验以及阻抗实验。结果表明，在3.5% NaCl溶液中HE3薄膜样品具有最低的腐蚀电流密度(Icorr) 0.0311 μA/cm2和最高的腐蚀电位-37.557mV；在0.5mol/L硫酸溶液耐腐蚀试验中，HE3薄膜样品同样具有最低的腐蚀电流密度和最高的腐蚀电位，表现出最优异的耐腐蚀性能。随着薄膜中氮含量的增多，薄膜非晶程度增加，致密性提高，表面缺陷及孔洞消失，耐腐蚀性能改善。研究结果证明，（BCSiAlCr）Nx薄膜在腐蚀防护方面具有潜在的应用前景。
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单位中国科学院兰州化学物理研究所; 材料学院; 内蒙古科技大学; 许昌学院
