目的 设计一种基于STM32主控制器芯片与FPGA从控制器芯片的激光切割高精度Z轴调高随动控制系统。方法 介绍该控制系统的工作原理、硬件设计、软件设计以及微电容测量电路的仿真实验。同时，针对系统随动过程中存在干扰的现象，提出基于滑动平均值滤波算法的改进滤波算法。结果 经过上机切割测试验证，该随动控制系统动态跟随精度为0.01 mm，最大跟随速度为500 mm/s。结论 该随动控制系统能够使激光切割机床实现高速高精度的切割。
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