聚合物四开叉型微针阵列的仿真、制备与测试

作者：王洁; 金敏慧; 蔡金东; 吴文渊; 李以贵^*

来源：传感器与微系统, 2020, 39(06): 70-76.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)06-0070-03

• 移动X光光刻技术
• 聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)四开叉型微针
• 毛细管现象

通过使用MATLAB软件,设计了四开叉型微针阵列的掩模板图形,并利用仿真和掩模板图形补偿方法,改进了四开叉型微针阵列的掩模板图形,使得制备的四开叉型微针阵列的强度得到增加。采用两次移动X光曝光技术制备了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)四开叉型微针阵列。利用毛细管现象,制备的四开叉型微针可以提取与血液性质类似的苯胺蓝溶液,验证了该微针阵列可以用来采血。通过将微针刺入聚氨酯薄膜上,测试施加的负荷来进行强度测试,验证了所制备的微针阵列有足够的强度,负荷为0. 4 N/针。

• 单位
  上海应用技术大学