铝箔交流腐蚀过程中添加剂的筛选研究

作者:吕根品; 闫小宇; 黄宏亮; 方铭清; 肖远龙*
来源:电子元件与材料, 2021, 40(05): 436-459.
DOI:10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1776

摘要

采用密度泛函理论计算了15种阴离子与Al3+的结合能Eb1及5种铝盐与OH-间结合能Eb2,并通过腐蚀皮膜和比容测试验证。结果表明,SO42-和C2O42-具有很负的Eb2和Eb1,容易与Al3+结合以及利于形成腐蚀皮膜,导致在低浓度添加时比容有很大提升(94%)。PO43-类添加剂具有较正的Eb1和很负的Eb2,使得高浓度时容易与OH-结合形成腐蚀皮膜,从而提升比容(107%)。由于空间位阻效应,NO3-类添加剂的竞争作用和沉淀反应趋势都较弱,导致添加剂浓度增加时腐蚀皮膜厚度出现下降趋势。然而,高浓度HNO3具有强氧化性,有效促进了阳极皮膜的形成,导致比容明显增加(125%)。

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