摘要
本发明公开了双频外差与相移编码相结合的三维测量方法,由外差原理、相移编码原理、及三维测量原理三大关键部分组成。本发明的优点是:(1)双频外差后的条纹的周期无需覆盖整个视场,也即,两条纹的节距相差可以相差较大,从而可以提高分辨被测细节的能力,同时更容易满足外差限制条件V0表示初始相位主值与外差后相位频率的比值;表示相位主值的误差;ΔΦ表示外差后的相位误差。即,对相位主值的精度有较高的要求)。(2)用N个周期的相位编码条纹就可以解出大于2N个周期的绝对相位,从而达到用频率较低的相位编码条纹,实现高精度的表面形貌测量。
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