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摘要
随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加，对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高。对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述，分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池（简称“TOPCon”）低压硼扩散炉的发展现状，探讨了硼扩散设备技术难点和未来研究方向。
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单位湖南红太阳光电科技有限公司; 湖南红太阳新能源科技有限公司; 中国电子科技集团公司第四十八研究所
随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加，对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高。对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述，分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池（简称“TOPCon”）低压硼扩散炉的发展现状，探讨了硼扩散设备技术难点和未来研究方向。
