金属有机溶液沉积(MOD)法是高温超导钇钡铜氧YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜及其涂层导体一种低成本的制备技术.MOD的低温处理可分为有机溶剂蒸发和有机盐分解,其中热平衡及其内应力释放在热解过程中起到重要作用.本文通过对不同热处理条件下的YBCO薄膜表面形貌的观察,获得了热解过程中的应力诱导的表面形貌机制和热参数控制窗口.在此基础上得到了优化的低温热处理条件,从而能有效控制化学法YBCO薄膜表面容易出现的裂纹或隆起现象,最终明确了稳定制备高质量超导薄膜的机制.
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