液氧内压缩流程空分设备与氧气外压缩流程空分设备工艺流程不同,上塔提馏段氧气纯度调节方法差异较大。以马钢20 000 m3/h液氧内压缩流程空分设备为例,叙述内压缩流程空分设备工艺流程特点,详细分析内压缩流程空分设备氧气纯度各种不同的调节方法,介绍马钢20 000 m3/h内压缩流程空分设备热开车调纯阶段氧气纯度调节方法运用实例。