反应条件对氮(碳/氧)化硅薄膜性能的影响

作者：王君; 李芬; 吉小利; 储昭荣; 徐国财

来源：化学与生物工程, 2004, (01): 20-22.

• 氮(碳/氧)化硅
• 反应条件
• 薄膜 (carbon) silicon (oxy)nitride
• reaction circumstances
• films

就氮(碳/氧)化硅薄膜的反应条件-组成和结构-性能之间关系的国内外研究进行了综述。

• 单位
  安徽理工大学