本发明涉及一种利用弯曲应力实现p型掺杂氧化镓的制备方法,包括步骤：S1、在牺牲层上生长氧化镓,形成氧化镓层；S2、将所述氧化镓层转移到弯曲衬底上,使所述氧化镓层形成弯曲状；S3、将所述氧化镓层与所述弯曲衬底进行键合；S4、对弯曲后的所述氧化镓层进行掺杂,得到p型掺杂氧化镓。该制备方法将氧化镓层转移到弯曲衬底上,使得氧化镓层也形成弯曲状,弯曲可以使得氧化镓的带隙变小,从而有利于制备得到p型掺杂的氧化镓。
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