SiO2薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展

作者：俞立宸; 季鑫^*; 高磊; 顾雁豪; 周晟吉

来源：上海工程技术大学学报, 2019, 33(03): 215-277.

• SiO2薄膜
• 制备方法
• 磁控溅射
• 光学性能

综述了二氧化硅(SiO2)薄膜的制备方法和研究进展,介绍了磁控溅射、溶胶凝胶法和真空镀等SiO2薄膜制备方法及其优缺点,论述SiO2薄膜在光学、电学和光电等性能研究方面的新进展,最后对SiO2薄膜的应用和发展进行了展望.

• 单位
  上海工程技术大学