MAIP镀TiN薄膜结构形貌的研究

作者：李忠厚; 宋媛媛; 宋刑

来源：热处理技术与装备, 2014, 35(02): 19-22.

DOI：10.19382/j.cnki.1673-4971.2014.02.004

• 多弧离子镀
• TiN薄膜
• 组织结构
• 形貌

本文用多弧离子镀膜(MAIP)技术在高速钢基片表面镀TiN后,用XRD和SEM对膜层组织结构、形貌进行了分析。结果显示,在高速钢基片表面的为TiN薄膜,该TiN膜致密,但在薄膜表面有少量白色大颗粒和黑点。能谱分析显示,白亮的大颗粒成分与普通膜面几乎相同,大黑点是直通基体的针孔,小黑点是盲孔。结论:这些大颗粒降低了薄膜表面粗糙度,对薄膜的耐磨性产生不利影响,而且针孔的存在,对膜层的耐蚀性有不利影响。

• 单位
  青岛滨海学院