激光功率密度对类金刚石膜结构性能的影响

作者：彭鸿雁; 周传胜; 赵立新; 金曾孙; 张冰; 陈宝玲; 陈玉强; 李敏君

来源：Acta Physica Sinica, 2005, (09): 4294-4299.

• 激光功率密度
• 类金刚石膜
• 性能
• 结构 laser power density
• diamond-like carbon films
• properties
• structures

采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了激光功率密度对膜的结构和性能的影响,分析了膜的紫外可见透过谱及膜的带隙结构、Raman谱和电子衍射图,结果表明随着激光功率密度由108W/cm2提高至1010W/cm2,膜的结构也由无定形非晶结构转变为纳米晶金刚石结构,膜中的sp3键舍量及各项性能均有提高.

• 单位
  牡丹江大学; 牡丹江师范学院; 超硬材料国家重点实验室; 吉林大学