为了提高半导体实验室中的小尺寸硅片工艺操作效率,提出一种气压驱动方式的特殊硅片传输机械手,并以PLC为核心的控制系统设计方案。经试验证明:采用该型硅片传输机械手后,小尺寸硅片实验操作效率得到提高,且在实验过程中避免了二次污染。
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