近红外光学膜厚监控系统的研制

作者：江绍基; 马云飞; 佘卫龙; 王自鑫; 朱析; 蔡志岗; 李宝军

来源：半导体光电, 2004, (06): 469-473.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2004.06.017

• 近红外
• 光学薄膜
• 膜厚监控
• 锁相放大 near infrared
• optical coatings
• monitoring of coating thickness
• lock-in amplification

　在光学真空镀膜膜厚监控过程中,近红外波段信号弱、外界干扰大、信噪比低,难于检测监控。运用相干检测、锁相放大原理,在光学真空镀膜机可见光波段监控系统的基础上,研制了锁相放大器和改装近红外探头组成的近红外光学膜厚监控系统,成功实现近红外膜厚监控信号的压噪、放大、滤波和检测监控。

• 单位
  光电材料与技术国家重点实验室; 中山大学