探测器级单晶金刚石材料的生长

作者：刘金龙; 李成明^*; 朱肖华; 邵思武; 陈良贤; 魏俊俊

来源：人工晶体学报, 2019, 48(11): 1990-1991.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.11.002

• 金刚石
• 探测器
• 氮杂质
• 位错密度

采用高质量高温高压单晶金刚石衬底,通过等离子体环境净化的方法获得高纯、低缺陷密度金刚石材料,有望应用于医疗、核、宇宙射线等辐射探测器。采用微波化学气相沉积方法成功外延生长出了8 mm×8 mm的高质量单晶金刚石材料。晶体内无明显的应力集中区,X射线摇摆曲线(004)峰半高宽0. 008°,PL光谱中未见与氮相关杂质,基于电子顺磁共振测试孤氮杂质含量为23ppb。

• 单位
  北京科技大学