量子点光刻技术及其显示应用

作者：张萍萍; 杨高岭^*; 康果果; 石建兵; 钟海政

来源：应用化学, 2021, 38(09): 1175-1188.

DOI：10.19894/j.issn.1000-0518.210156

• 光刻
• 量子点
• 图案化
• 显示

量子点显示器件具有高光谱纯度、宽色域、高亮度等优势,被认为是显示行业未来的一个重要发展方向。发展量子点高精度光刻图案化技术对实现其在显示领域的应用具有重要的意义。本文阐述了量子点光刻技术的最新进展,主要包括光刻胶辅助剥离光刻和直接光刻技术。在直接光刻技术方面,着重介绍混入光刻胶光刻和配体工程光刻,并对图案化的量子点发光层在光致发光和电致发光中的应用进展进行评述。同时,介绍量子点光刻中存在的问题并展望其在超高分辨率显示领域的应用前景。

• 单位
  材料学院; 北京理工大学