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摘要
本发明公开了一种具有石墨烯和极性J-TMD插入层的氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法,主要解决现有技术光吸收率低、表面接触电阻过大的问题。方案为：自下而上依次包括衬底、第一氧化镓沟道层、石墨烯层、金属纳米结构层和第二氧化镓沟道层、二维层状材料界面修饰层和源电极、漏电极；其中源电极位于第二氧化镓沟道层上的一端,漏电极位于二维层状材料界面修饰层上与源电极相对的一端。以J-TMD层材料作为金属-氧化镓界面修饰层修饰氧化镓沟道层表面,并在氧化镓层中插入金属纳米颗粒修饰的高迁移率石墨烯材料。本发明能够有效提高提高载流子迁移率和光吸收能力,降低表面接触电阻,提高紫外探测器的响应度和响应速度水平。
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