加热炉温度场数值是解决加热过程中出现问题的重要参数。其中加热炉温度控制的准确性会影响到器件的品质，导致器件后续加工无法进行。如果没有控制好温度，会造成不必要的浪费。因此，对于加热炉温度场数值模拟研究具有很重要的意义。概述了加热炉温度场数值模拟的研究进展，阐述了多种加热炉的数值模拟。通过软件建立模型进行分析，以模拟数据为依据进行加热，模拟数据结果与加热炉实操实测结果基本相符。
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