摘要

采用多弧离子镀技术制备高容量电容器用TiCxN1-x/Al复合铝箔电极,研究不同温度下TiCxN1-x/Al复合铝箔的比电容特性,并通过扫描电镜和X射线衍射分析不同温度下铝箔的表面微观结构和物相变化规律。结果表明,TiCxN1-x/Al复合铝箔的比电容高达1 600μF/cm2,经退火处理后,TiCxN1-x涂层表面颗粒有逐渐长大趋势,晶体结构也从非晶态向晶态转变,当退火温度高于200℃时,复合铅箔比电容下降较快。