微弧氧化制备BaTiO3介电薄膜的电解液体系优化

作者：王敏; 郭会勇; 李文芳; 张果戈

来源：金属热处理, 2014, 39(07): 162-165.

DOI：10.13251/j.issn.0254-6051.2014.07.038

• 电解液
• 微弧氧化
• BaTiO3
• 介电薄膜

用正交试验法对BaTiO3薄膜微弧氧化电解液体系进行优化,并对最优电解液体系下所得薄膜的物相组成,元素分布情况、表面形貌及介电性能进行了表征。结果表明,最优电解液体系为0.5 mol/L Ba(OH)2+0.1 g纳米TiO2+0.05 g乙二醇+0.2 g甘油;最优电解液体系下所得薄膜主要由四方相BaTiO3和极少量BaCO3组成,且薄膜表面平整、孔洞分布均匀、孔径细小,其在100 Hz下的介电常数为245.3。

• 单位
  华南理工大学; 广东技术师范大学; 平高集团有限公司