基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器

作者：李海宁; 丁杰雄; 姜忠; 付陆元; 刘广民

来源：仪表技术与传感器, 2014, (01): 7-10.

• 声表面波谐振器
• 曲面狭缝
• 应力仿真
• MEMS工艺
• 封装方式

为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺。首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式。通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性。

• 单位
  中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 电子科技大学; 电子工程学院