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摘要
针对FPOL敏感膜ST切石英基底双端谐振型SAW传感器的频率响应特性和敏感机理进行了理论分析。采用P矩阵级联方法与微扰理论,系统地讨论了影响传感器频率响应特性与探测灵敏度的因素。研究结果表明:在优化设计传感器器件结构的基础上,还需合理选择敏感区宽度、敏感膜材料特性及厚度,以提高探测灵敏度、降低插入损耗。给出了优化后的器件结构和敏感膜参数,可对双端谐振型SAW传感器的设计与性能分析提供重要参考。
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单位光电信息学院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
