钨灯丝扫描电子显微镜具有造价和运行成本低、样品适用性广的特点，在各研究机构的利用率很高，日常维护保养是保障其性能的必要手段.除了常规的扫描电子显微镜维护以外，因钨灯丝扫描电子显微镜结构特点，又有一些异于其它类型扫描电子显微镜的维护要点.以蔡司的EVO MA 15型钨灯丝扫描电子显微镜为例，从电子光学系统、真空系统、成像系统三个方面，阐述了钨灯丝扫描电子显微镜日常维护保养的具体办法，以供同行参考.
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