混合物理化学气相沉积法制备Al_2O_3衬底MgB_2薄膜性质的研究

作者：丁莉莉; 姚丹; 陈莉萍; 庄承钢; 张开诚; 陈晋平; 熊光成; 冯庆荣

来源：低温物理学报, 2005, S1: 919-925.

• MgB_2薄膜
• X-光衍射图
• SEM图
• R~T曲线
• M~H曲线 MgB_2 thin films
• X-ray diffraction patterns
• SEM image
• R~T curve
• magnetic hysteresis

我们用混合物理化学气相沉积(Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition简称为HPCVD)法在Al2O3(00l)衬底上原位制备了MgB2超导薄膜样品.样品厚度约为1μm左右,最高的超导起始转变温度Tc(onset)=40.3K,转变宽度ΔT为0.3K.ρ50K=2.3μΩcm,剩余电阻比率RRR=R300K/R50K=10.样品的X射线衍射分析表明,MgB2薄膜具有较好的c轴取向,晶粒大小约200nm.由毕恩模型计算求得在5K和零场条件下,样品的临界电流密度Jc=7.6×106A/cm2,不同磁场下测得R~T曲线可以外推得到Hc2(0K)约10T.这些结...

• 单位
  北京大学; 物理学院; 人工微结构和介观物理国家重点实验室