甚长波碲镉汞红外探测器制备研究

作者：田震; 宋淑芳; 邢艳蕾; 孙浩; 刘世光

来源：激光与红外, 2022, 52(10): 1527-1531.

• 双层异质结
• 甚长波红外
• 碲镉汞
• 红外焦平面探测器

报道了碲镉汞甚长波红外焦平面探测器的最新研究进展。采用水平液相外延In掺杂和垂直液相外延As掺杂技术生长了高质量的p-on-n型双层异质结材料。并通过提高材料质量将双层异质结材料的双晶衍射半峰宽控制在30 arcsec以内。基于台面器件加工、表侧壁钝化以及In柱互连工艺，制备了640×512,25μm碲镉汞甚长波红外焦平面器件。通过进一步优化了材料生长和芯片制备工艺，在65 K的工作温度下，该器件的截止波长为14.35μm,有效像元率为98.06%,平均峰值探测率为8.09×1010 cm·Hz1/2·W-1。