短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜

作者：付秀华; 张功^*; 张静; 刘冬梅; 杨伟声; 木锐

来源：红外与激光工程, 2019, 48(10): 214-219.

• 光学薄膜
• 减反射膜
• 离子束辅助沉积
• 水吸收峰
• 红外探测

短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反射膜设计理论,对变尺度算法的评价函数进行了优化,建立了新型加权评价函数模型,在2.6～3.3μm的水吸收波段,根据模型设计了低敏感度高容差的膜系结构。并针对水吸收波段优化制备技术,研究了不同离子源辅助沉积参数对MgF2光谱特性的影响,同时采用阶梯性退火工艺,得到了一种有效降低水吸收的方法。最终所制备的薄膜在1.5～5μm波段范围内光谱透过率大于96.5%。

• 单位
  昆明物理研究所; 长春理工大学