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摘要
压力传感器是汽油机电子控制系统的重要部件，为汽油机电子控制单元提供关键的压力信号，如果压力信号出现漂移，将会影响汽油机测量精度和故障诊断。本文针对某汽油机MEMS压力传感器出现批量压力信号漂移的故障，将压力传感器进行拆解分析，分别从结构型式、工作原理和生产工艺三个方面进行研究，对压力信号漂移原因进行逐一排查，最终找到根本原因：由于晶圆在热氧化过程中温度控制缺陷导致压敏电阻氮化绝缘层厚度不足，造成电流泄漏。提出改进方案，通过减小晶圆烤炉温度公差，有效解决了压力漂移故障。
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单位宁波吉利罗佑发动机零部件有限公司
